Il-pads tal-illustrar huma l-aċċessorji ewlenin li jiddeterminaw il-kwalità tal-wiċċ tal-wejfers fil-proċess tal-illustrar mekkaniku kimiku (CMP). Huma magħmulin prinċipalment minn materjali bħal fowm tal-polyurethane, li għandhom mikrostruttura poruża u reżistenza għolja għall-ilbies. Il-funzjonijiet ewlenin tiegħu jinkludu trasferiment uniformi ta 'pressjoni, ħażna ta' fluwidu tal-illustrar, u tneħħija ta 'residwi ta' reazzjoni. Billi taġġusta l-ebusija, l-uniformità in-moffa (WID) u in-chip uniformità tal-wejfer jistgħu jiġu ottimizzati, rispettivament. Id-disinn tal-mudell tal-kanal jaffettwa direttament l-effiċjenza tad-distribuzzjoni tal-likwidu tal-illustrar. Il-kanal radjali jtejjeb ir-rata tat-tneħħija tal-materjal, filwaqt li l-kanal taċ-ċirku jottimizza l-finitura tal-wiċċ.
Il-prestazzjoni tal-kuxxinett tal-illustrar hija determinata minn 7 indikaturi ewlenin:
1.Densità: Taffettwa l-grad ta 'deformazzjoni
2.Ebusija: Irregola l-effiċjenza tat-tħin
3.Thickness: jiddetermina l-uniformità tal-pressjoni
Mudell 4.Groove: ottimizza d-distribuzzjoni tal-likwidu
Parametri 5.Groove: wisa '/fond jaffettwaw il-kapaċità tal-ħażna
6.Speċifikazzjonijiet tad-dijametru ta 'barra: jeħtieġ li jiġu adattati għad-daqs tat-tagħmir
Kompożizzjoni u struttura tal-kuxxinett tal-illustrar tal-polyurethane
Il-kuxxinetti tal-illustrar tal-polyurethane normalment jużaw -polyurethane ta 'prestazzjoni għolja bħala l-materjal ewlieni. Il-polyurethane huwa tip ta' polimeru molekulari għoli b'elastiċità tajba, reżistenza għall-ilbies u stabbiltà kimika.
L-istruttura tiegħu ġeneralment tinkludi saff tal-illustrar u saff ta 'rinforz. Is-saff tal-illustrar huwa f'kuntatt dirett mal-materjal illustrat u jeħtieġ li jkollu karatteristiċi xierqa ta' ebusija, ħruxija u porożità biex jinkiseb effett effiċjenti tal-illustrar; is-saff ta 'rinforz prinċipalment għandu r-rwol li jappoġġa u jiffissa s-saff tal-illustrar, filwaqt li jgħin biex jittrasmetti pressjoni tal-illustrar u jżomm l-istabbiltà ġenerali tal-kuxxinett tal-illustrar.
Karatteristiċi tal-prestazzjoni tal-pads tal-illustrar tal-polyurethane
Elastiċità għolja: tista 'taqbel aħjar mal-wiċċ tal-oġġett illustrat, u anki uċuħ kkurvati kumplessi jistgħu jiġu illustrati b'mod uniformi, u tnaqqas il-pressjoni lokali li hija kbira wisq jew żgħira wisq matul il-proċess tal-illustrar CMP, u b'hekk titjieb il-kwalità tal-illustrar.
Reżistenza għolja għall-ilbies: Matul il-proċess ta '-illustrar fit-tul, jista' jżomm il-forma u l-prestazzjoni tiegħu stess u mhuwiex faċli biex jilbes, li jestendi l-ħajja tas-servizz tal-kuxxinett tal-illustrar u jnaqqas l-ispiża tal-użu.
Flatness għolja: Jista 'jiżgura l-flatness tal-wiċċ illustrat, li huwa essenzjali għall-ipproċessar ta' komponenti ottiċi ta '{0}}preċiżjoni għolja, ċipep semikondutturi, eċċ., U jista' jissodisfa r-rekwiżiti stretti għall-eżattezza tal-wiċċ f'dawn l-oqsma.
Stabbiltà għolja: Taħt kundizzjonijiet ambjentali differenti (bħal bidliet fit-temperatura u l-umdità, eċċ.), Il-kuxxinett tal-illustrar tal-polyurethane xorta jista 'jżomm l-istabbiltà tal-prestazzjoni tiegħu u jiżgura l-konsistenza tal-effett tal-illustrar.